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An Introduction to Surface-Micromachining

BuchKartoniert, Paperback
189 Seiten
Englisch
Springererschienen am12.12.2012Softcover reprint of the original 1st ed. 2004
Building up from the basic building block of microfabrication techniques, to the general surface-micromachining design, it will finish with the theory and design of concrete components.mehr
Verfügbare Formate
BuchGebunden
EUR111,50
BuchKartoniert, Paperback
EUR106,99

Produkt

KlappentextBuilding up from the basic building block of microfabrication techniques, to the general surface-micromachining design, it will finish with the theory and design of concrete components.
Details
ISBN/GTIN978-1-4757-1077-9
ProduktartBuch
EinbandartKartoniert, Paperback
Verlag
Erscheinungsjahr2012
Erscheinungsdatum12.12.2012
AuflageSoftcover reprint of the original 1st ed. 2004
Seiten189 Seiten
SpracheEnglisch
Gewicht320 g
IllustrationenXIII, 189 p.
Artikel-Nr.29471645

Inhalt/Kritik

Inhaltsverzeichnis
1. Introduction.- 1.1 Why miniaturize?.- 1.2 Why surface-micromachining?.- 1.3 History.- References.- I Fabrication.- 2. Microfabrication Processes.- 3. Micromachining Technologies.- II Design.- 4. Microscale Physics.- 5. Mechanics.- 6. Design Rules.- 7. Non-Ideal Processes.- 8. Design Techniques.- III Devices.- 9. Electrical Components.- 10. Mechanical Components.- 11. Electrostatic Actuators.- 12. Electro-Thermal-Compliant Actuators.- 13. Raised Structures.- IV Processes.- 14. PolyMUMPsTM Process.- 15. SUMMiTTM Process.- 16. MUSiC® Process.mehr