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Silizium-Halbleitertechnologie

Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik
BuchKartoniert, Paperback
309 Seiten
Deutsch
Springererschienen am27.10.20238. Aufl.
Das Lehrbuch behandelt die Grundlagen und die technische Durchführung der Einzelprozesse zur mikroelektronischen Schaltungsintegration in der Silizium-Halbleitertechnologie.mehr
Verfügbare Formate
BuchKartoniert, Paperback
EUR49,99
BuchKartoniert, Paperback
EUR39,99
E-BookPDF1 - PDF WatermarkE-Book
EUR29,99
E-BookPDF1 - PDF WatermarkE-Book
EUR35,96
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Produkt

KlappentextDas Lehrbuch behandelt die Grundlagen und die technische Durchführung der Einzelprozesse zur mikroelektronischen Schaltungsintegration in der Silizium-Halbleitertechnologie.
Details
ISBN/GTIN978-3-658-42377-3
ProduktartBuch
EinbandartKartoniert, Paperback
Verlag
Erscheinungsjahr2023
Erscheinungsdatum27.10.2023
Auflage8. Aufl.
Seiten309 Seiten
SpracheDeutsch
IllustrationenXII, 309 S. 306 Abb.
Artikel-Nr.54119107

Inhalt/Kritik

Inhaltsverzeichnis
Herstellung von Siliziumscheiben.- Oxidation des dotierten Siliziums.- Lithografie.- Ätztechnik.- Dotiertechniken.- Depositionsverfahren.- Metallisierung und Kontakte.- Scheibenreinigung.- MOS-Technologien zur Schaltungsintegration.- Erweiterungen zur Höchstintegration.- Transistoren mit Nanometer-Abmessungen.- Bipolar-Technologie.- Montage integrierter Schaltungen.mehr

Schlagworte