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KlappentextDas Lehrbuch behandelt die Grundlagen und die technische Durchführung der Einzelprozesse zur mikroelektronischen Schaltungsintegration in der Silizium-Halbleitertechnologie.
Details
ISBN/GTIN978-3-658-42377-3
ProduktartBuch
EinbandartKartoniert, Paperback
Verlag
Erscheinungsjahr2023
Erscheinungsdatum27.10.2023
Auflage8. Aufl.
Seiten309 Seiten
SpracheDeutsch
IllustrationenXII, 309 S. 306 Abb.
Artikel-Nr.54119107
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