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Sputtering by Particle Bombardment II

Sputtering of Alloys and Compounds, Electron and Neutron Sputtering, Surface Topography
BuchKartoniert, Paperback
394 Seiten
Englisch
Springererschienen am23.08.2014Softcover reprint of the original 1st ed. 1983
With contributions by numerous expertsmehr

Produkt

KlappentextWith contributions by numerous experts
Zusammenfassung
Details
ISBN/GTIN978-3-662-31169-1
ProduktartBuch
EinbandartKartoniert, Paperback
Verlag
Erscheinungsjahr2014
Erscheinungsdatum23.08.2014
AuflageSoftcover reprint of the original 1st ed. 1983
ReiheTopics in Applied Physics
Seiten394 Seiten
SpracheEnglisch
Gewicht624 g
IllustrationenXIII, 394 p.
Artikel-Nr.32592149

Inhalt/Kritik

Inhaltsverzeichnis
and overview.- Sputtering of multicomponent materials.- Chemical sputtering.- Sputtering by electrons and photons.- Sputtering of solids with neutrons.- Heavy ion sputtering induced surface topography development.- Development of surface topography due to gas ion implantation.mehr

Schlagworte